具四分之一諧振模態之堆疊型薄膜體聲波共振器之製造方法及其結構

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

097104755

專利證號

I 340544

專利獲證名稱

具四分之一諧振模態之堆疊型薄膜體聲波共振器之製造方法及其結構

專利所屬機關 (申請機關)

國立中山大學

獲證日期

2011/04/11

技術說明

本發明是提供一種製造四分之一諧振模態之堆疊型薄膜體聲波共振器之方法。利用高聲阻抗與低聲阻抗薄膜交替堆疊形成布拉格反射器(Bragg reflector)，此布拉格反射器具有近似無窮大之聲阻抗，足以鉗制聲波，形成四分之一諧振模態，其完成的元件可應用於高頻共振器及濾波器，亦可應用在超高感測度之氣體分子或生物感測器。一種具四分之一諧振模態之堆疊型薄膜體聲波共振器之製造方法，其包含提供一基板，該基板係具有一表面；形成一布拉格反射器於該基板之該表面，該布拉格反射器係由複數個高聲阻抗材料層及複數個低聲阻抗材料層交替堆疊形成；形成一壓電薄膜於該布拉格反射器之一高聲阻抗材料層上；以及形成一電極層於該壓電薄膜上。

備註

本部(收文號1110004564)同意該校111年1月18日中產營字第1111400078號函申請終止維護專利(國立中山大學)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學營運及推廣教育處

連絡電話

(07)525-2000#2651

網址