金屬化合物奈米管的製作方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

109138795

專利證號

I 759950

專利獲證名稱

金屬化合物奈米管的製作方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立雲林科技大學

獲證日期

2022/04/01

技術說明

一種金屬化合物奈米管的製作方法，沉積一厚度介於10nm~100nm的金屬晶種層在一基板上，再沉積一鋁層在該金屬晶種層上，且該金屬晶種層與該鋁層的材料不同。接著，以陽極氧化法對該鋁層形成一具有多個能讓該金屬晶種層露出的孔洞的陽極氧化鋁模板，並以陽極氧化法讓該金屬晶種層在該等孔洞中成長成金屬氧化物奈米管，隨後移除該陽極氧化鋁模板，以在該基板上形成該等金屬氧化物奈米管。最後，對該等金屬氧化物奈米管進行退火的同時，將一物質汽化以取代每一該金屬氧化物奈米管的氧元素，以讓該等金屬氧化物奈米管形成多個金屬化合物奈米管。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財管理組

連絡電話

(05)5342601轉2521

網址