於氮化鈦上製備鈦酸鋇膜之方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

095122143

專利證號

I 318246

專利獲證名稱

於氮化鈦上製備鈦酸鋇膜之方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2009/12/11

技術說明

本技術主要以水熱電化學法於鍍著氮化鈦之矽晶片基材上製備鈦酸鋇膜。將氮化鈦膜侵入含鋇離子之鹼性電解液中，以 水熱電化法於60℃以上反應可形成鈦酸鋇膜。由於在目前尚未有使用氮化鈦鍍著鈦酸鋇，且以氮化鈦在半導體業上的應 用，因此此發明具有廣泛應用性。

備註

本部(收文號1050039630)同意該校105年6月7日興產字1054300411號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

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連絡電話

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