銅導線置換沈積之除氧方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

10/716550

專利證號

US6,838,116

專利獲證名稱

銅導線置換沈積之除氧方法

專利所屬機關 (申請機關)

逢甲大學

獲證日期

2005/01/04

技術說明

一種銅導線置換沉積之除氧方法,其主要係將用來調配化學鍍銅反應溶 液之溶劑,以煮沸法來 將溶劑中的溶氧去除,以調配出低含氧量之反應溶液,俾使化學鍍銅所 沉積成長之銅膜中的氧 含量降低,以提高置換沉積之銅導線的電氣品質。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術授權中心

連絡電話

(04)24517250-6811

網址