具自動校正垂直度功能之薄膜厚量測裝置及其量測方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

104102607

專利證號

I 513952

專利獲證名稱

具自動校正垂直度功能之薄膜厚量測裝置及其量測方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立虎尾科技大學

獲證日期

2015/12/21

技術說明

因工業科技的發展及高速自動化生產技術的提昇，在顧及快速生產與品質保證之原則，藉由自動化檢測系統之輔助，將對檢測效益、品質提升與成本降低有相當助益。並可藉影像處理技術及自動控制光學檢測系統(automatic optical inspection, AOI)，以解決鋸條成形時各參數無法量測之窘境，以確定齒條加工後之是否準確性之依據。因在鋸條於加工機上之連續加工成型時，無即時線上量測各項重要參數，並統計其誤差量，難以即時剃除不正確加工情況。且因每支鋸條成形時100~200獨立齒，為保證在鋸條成形時每齒之正確參數，及提升檢測性能及保障鋸條產品之品質。需獨立開發線上檢測系統，以配合鋸齒成形之參數量測。 本計畫建置線上量測系統架構，將隨著鋸條成形於加工之夾治具中而影像即時存取判別。而量測系統之治具與伺服馬達輸送裝置相連結，成形齒條之量測可依每齒移動之節鋸前進擷取影像。為讓影像之誤差減少，CCD與齒條之每一齒保持正向垂直，取得真實影像。並經由CCD擷取待測鋸條成形時之影像，再將鋸條成形銑刀影像利用編譯軟體所撰寫之量測程式進行鋸條各重要參數尺寸之量測。故此量測系統可概分為三個部份，其中包括影像擷取裝置、成形鋸條夾持與伺服馬達聯結傳動裝置、鋸條成形參數量測程式與介面操作裝置。 本計畫將運用Otsu影像量測理論、自動控制設備及自行規劃之量測軟體介面程式，量測鋸條成形之每齒之齒距、齒根深、齒弧曲率半徑、間隙角等參數，並統計分析。本研究將使用MSA (Measurement System Analysis)分析系統並計算鋸條之標準偏差值(standard deviation)，再以精密塊規與角規進行準確度比較。此鋸條成形量測系統測得之參數可作為鋸條品質判斷及控管之具體定量分析依據，以提升鋸條之加工精度與生產效率。 This project used Otsu image measuring theory, automatic control and measuring interface program to measure the saw-blade. The size parameters of saw-blade included tooth pitch, depth of tooth root, tooth sector radius of curvature and relief angle. This study utilized an MSA analytic system to analyze the measuring value of these parameters and count the standard deviation. The resultant values were compared with standard gauge to assure accuracy. The measured size parameters were the basis for judging quality of the saw-blade. The saw-blade parameters obtained from the measuring system can be treated as the basis of saw blade quality control and can greatly promote both machining accuracy and production efficiency of the sawing process.

備註

本部(收文號1080024276)同意該校108年4月16日虎科大智財字第1083400058號函申請終止維護專利。

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