製備金屬奈米粒子的方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

110112596

專利證號

I 773231

專利獲證名稱

製備金屬奈米粒子的方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2022/08/01

技術說明

提出一種利用光還原法在環氧樹脂基之光阻上製作出純金屬奈米結構的新技術。此發明基於環氧樹脂光阻的還原能力，將金屬前驅物覆蓋在環氧樹脂基之光阻薄膜或是結構上並照UV光，即可在金屬前驅物與光阻之介面形成單層的奈米粒子膜或是連續薄膜。也可以先設計好模具，透過奈米轉印技術在環氧樹脂光阻表面製作遮罩，用於選擇性阻擋金屬前驅物與環氧樹脂光阻之接觸，再進行光還原，完成後去除遮罩，即可在環氧樹脂光阻上形成金屬奈米粒子的圖形排列或是金屬薄膜圖案化的結構。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

企業關係與技轉中心

連絡電話

06-2360524

網址