可調頻率的微機械共振器及具有該共振器的濾波電路

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

094136883

專利證號

I 297982

專利獲證名稱

可調頻率的微機械共振器及具有該共振器的濾波電路

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2008/06/11

技術說明

利用CMOS製程製作MEMS結構，不僅節省製作晶片成本，後製程步驟簡易，提升良率，可以與IC電路整合，縮小元件體 積，降低雜訊，製作出之共振器，調頻圍加大，可做為可變電容的應用。

備註

本部(收文號1050025911)同意該校105年4月12日興產字1054300245號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術授權中心

連絡電話

04-22851811

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