光誘發介電泳晶片

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

097132878

專利證號

I 393881

專利獲證名稱

光誘發介電泳晶片

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2013/04/21

技術說明

高分子材料因具有良好的光電轉換效率而相當受到重視。過去，光誘發介電泳力(optically-induced dielectrophoresis,ODEP)的操控平台是建立在非晶矽晶片的表面，然而，其非晶矽製程需在高溫下進行，同時相當複雜且昂貴。現在，我們提出了一個以高分子薄膜來製造光誘發介電泳力操控平台的方法，此高分子光誘發介電泳力晶片可在低溫的環境下製造，不僅成本較為低廉又具有相對簡易的製程，更進ㄧ步被應用在生物領域，針對於微粒子及生物檢體進行操控。此發明之目的即是提供一種方便、快速且低成本的光誘發介電泳力晶片製程。以往非晶矽基板受限於複雜的製程，現在高分子薄膜晶片不僅成本低且在低溫下具有快速生產的潛質，其成本上的絕對優勢使此基板能以可拋棄式的型態使用於生物的應用上。晶片製程是先將已塗佈聚二氧乙烯噻吩(poly(3,4-ethylenedioxythiophene, PEDOT))的氧化銦錫(Indium Tin Oxide , ITO)玻璃送入氮氣手套箱中，利用旋轉塗佈形成高分子薄膜，薄膜經過常溫揮發後，立即送進真空蒸鍍機中進行氟化鋰(LiF)的蒸鍍以阻絕空氣中的水、氧破壞高分子薄膜，完成基板製程。自真空蒸鍍機中取出後，利用雙面膠將氧化銦錫玻璃與高分子基板黏合（參考圖F001），即完成高分子的光誘發介電泳力晶片( Polymer ODEP Chip )。 Polymer materials have been well recognized for their excellent optoelectric transmission efficiency. Traditionally, optically-induced dielectrophoresis (ODEP) manipulators are fabricated on amorphous silicon wafers, which require high-temperature, costly and complicated processes. Instead, we propose to use a polymer thin-film to fabricate ODEP manipulators. With this approach, simpler and cheaper low-temperature manufacturing procedure to manufacture the ODEP chips can be realized. The ODEP chips can be further used for biological applications by manipulating biosamples or microparticles. The purpose of this invention is to provide a convenient, efficient, and low-cost procedure in manufacturing the ODEP chips. The amorphous silicon substrate was constrained by its complex manufacture procedure. On the contrary, the polymer thin film chip can be mass-fabricated with a lower cost at a lower operation temperature.

備註

本部(第1080005472號)同意該校108年01月19日成大研總字第1081100196號函申請終止維護案。

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