發明
中華民國
096119831
I 335490
奈米壓印製程
國立成功大學
2011/01/01
本發明揭露一種快速奈米壓印製程。本發明目的在提出一種快速奈米壓印製程,至少包括下列 步驟。首先,提供一材料作為奈米壓印所需的基底材料。接著在基底材料表面上塗佈上一層欲 轉印之材料層。接著將具有凸設特徵圖形的平板模仁表面上蒸鍍上一層金屬薄膜。接下來,將 平版模仁置於欲壓印材料表面之上,其中平板模仁上的凸設特徵圖形與預壓印層之表面接觸。 接下來,施加外應力於平面模仁之上,使平板模仁與欲壓印之材料層緊密接觸。然後,移除平 板模仁。
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