於氮化鈦上形成鈦酸鋇膜之方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

094114293

專利證號

I 264419

專利獲證名稱

於氮化鈦上形成鈦酸鋇膜之方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2006/10/21

技術說明

一種以氮化鈦膜為底材合成鈦酸鋇膜之新技術。以水熱法(>50℃)將氮化鈦膜侵入含鋇離子鹼性溶液中，使表面成長出 鈦酸鋇膜。由於所沉積氮化鈦膜容易具高方向性，製備出之鈦酸鋇膜亦具高方向性，製程簡易。在製程中亦可控制避免 碳酸鋇之污染，而以TiN作為底材，應用範圍更為廣泛。 This invention is to synthesize barium tatanate films on TiN by hydrothermal method (>50℃) in barium- contained alkaline solutions. The films are highly oriented due to the preferred orientation of TiN. Barium carbonate contaminates could be prohibited. This process also has a greater applicability than previous techniques.

備註

本部(收文號1040089468)同意該校104年12月17日興產字1044300671號函申請終止維護專利

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