多點測試裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

107145519

專利證號

I 687691

專利獲證名稱

多點測試裝置

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2020/03/11

技術說明

一種點測裝置，可應用於半導體或電子元件之點測設備中，尤指可應用於通入特定氣體的點測設備中。該點測裝置的一端固定探針卡，進行點測作業前先通入特定氣體於該點測裝置的內部，並以機構設計將特定氣體導引流向探針卡之探針針尖所在區域，並以複數個探針針尖同時接觸晶圓上複數個晶片的複數個焊墊(Pads)，通入適當的電壓或電流，以進行晶片內的電性測試，確保產品品質。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

國研院技術移轉中心

連絡電話

02-66300686

網址