三維形貌量測系統

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

095126352

專利證號

I309294

專利獲證名稱

三維形貌量測系統

專利所屬機關 (申請機關)

國立中山大學

獲證日期

2009/05/01

技術說明

本發明提出一套利用體積全像技術所設計的光柵投影系統，來進行待測物三維形貌的量測。傳 統透鏡組的投影系統將光柵經透鏡成像在待測物上，會因為成像範圍相當有限 (景深太小)， 條紋將無法完全覆蓋在深度高低落差很明顯的大物體表面。因此，即使偵測儀器(CCD camera) 性能再好，所偵測到成像範圍之外的條紋都會是模糊不清，要由扭曲條紋來解調變得其相對應 的深度關係將變的更加困難。有鑑於此，本發明提出一套新的投影系統，將光柵紀錄在適當厚 度的體積全像片上，再利用白光重建全像片上所記錄的光柵圖案。由白光所繞射出的光柵圖案 具有高度的spatial coherence，可大大提高光柵投影在待測物上的景深，對量測大物體時有 顯著的幫助。而且，本投影裝置具有極差的temporal coherence，所以整個量測工作所受到光 斑(speckle)雜訊的影響也會降到最

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

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