製程參數的搜尋與分析方法及其電腦程式產品

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

102104846

專利證號

I 549007

專利獲證名稱

製程參數的搜尋與分析方法及其電腦程式產品

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2016/09/11

技術說明

此研發成果為一種製程參數的搜尋與分析方法及其電腦程式產品。首先，獲取製程機台分別處理複數個工件時所產生之複數組製程資料，其中每一組製程資料包含有複數個製程參數。然後，獲取被量測機台所量測出之工件之量測資料，其中量測資料以一對一的方式分別對應至製程資料，每一個工件具有至少一個量測點，每一組量測資料包含此至少一個量測點之至少一量測項目的至少一個實際量測值。接著，進行製程參數篩選步驟，以從製程參數中篩選出複數個關鍵參數。然後，進行製程參數最佳化步驟，以調整關鍵參數的數值來使一個工件之量測點的預測量測值符合品質目標值。 At first, a step is performed for obtaining sets of process data which are generated when a process tool processes workpieces respectively, each set of process data including process parameters. Then, a step is performed for obtaining sets of metrology data measured by metrology tool, wherein the sets of metrology data are corresponding to the sets of the process data in a one-to-one manner, each workpiece having at least one measurement point, each set of metrology data including at least one actual measurement value of at least one measurement item of the at least one measurement point. Thereafter, a parameter-selecting step is performed for selecting critical parameters from the process parameters. Then, a parameter-optimization step is performed for adjusting values of the critical parameters to enable predicted measurement values of the measurement points of one workpiece to meet a quality target value.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

企業關係與技轉中心

連絡電話

06-2360524

網址