發明
中華民國
097106917
I 368767
具光子晶體結構之表面聲波元件及其製造方法
國立中山大學
2012/07/21
一種具光子晶體結構之表面聲波元件,其包含有一基板、一光子晶體結構、一壓電薄膜以及一叉指換能器,該基板係具有一表面,該光子晶體結構係形成於該基板之該表面,該光子晶體結構係具有複數個呈週期性間隔排列之第一介質條及複數個呈週期性間隔排列之第二介質條,各該第一介質條之間係具有一空間,各該第二介質條係形成於各該空間,該壓電薄膜係形成於該光子晶體結構上,且覆蓋該些第一介質條及該些第二介質條,該叉指換能器係形成於該壓電薄膜上。
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