使用單一光源之傾角及位移同步量測之干涉儀裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

097102488

專利證號

I 351509

專利獲證名稱

使用單一光源之傾角及位移同步量測之干涉儀裝置

專利所屬機關 (申請機關)

國立雲林科技大學

獲證日期

2011/11/01

技術說明

一種使用單一光源之傾角及位移同步量測之干涉儀裝置，包含有一干涉儀系統、一角度感測控制系統及一訊號處理系統，該干涉儀系統包含有一光源組、一干涉儀及一位置檢測組，該干涉儀係設有一干涉鏡組及一移動組，該干涉鏡組包含有一固定鏡及一含量測鏡之傾角調整裝置，角度控制系統包含有一分光架、一四象限感測器及一壓電放大器，訊號處理系統係接收四象限感測器之信號並計算出控制量後傳至各壓電致動器，使移動鏡進行角度偏擺控制及位移量測而與固定鏡間保持平行，藉以提供一可大幅提高檢測準確度之使用單一光源之傾角及位移同步量測之干涉儀裝置者。 An interferometer device with single light source is applied for tilt angle and displacement measurements simultaneously, The system includes an interferometer system, angle sensor and controller systems of signal process system. The interferometer system consists of a light source, an interferometer and position sensitive detectors. There are two modules in the interferometer, interferometric mirrors and linear displacement system. Interferometric mirrors include a fixed mirror and a measurement mirror with control mechanism of tilt angles. The angle controller consists of a beam splitter frame, quadrant detector and piezo amplifier. By the quadrant detector, the angle signal can be detected and then that is the input for the control module. After the operation in controller, the corresponding regulation voltage will be delivered to piezo actuators. With them the tilt angle can be regulated during the displacement of measurement mirror.

備註

本部(發文號1090014096)同意貴校109年3月5日雲科大研字第1090014096號函申請終止維護專利。

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財管理組

連絡電話

(05)5342601轉2521

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