Z軸扭轉式加速度器結構MONOLITHIC Z-AXIS TORSIONAL CMOS MEMS ACCELEROMETER

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

14/625,106

專利證號

US 9,702,894 B2

專利獲證名稱

Z軸扭轉式加速度器結構MONOLITHIC Z-AXIS TORSIONAL CMOS MEMS ACCELEROMETER

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2017/07/11

技術說明

本發明公開了一種單片Z軸扭轉CMOS MEMS加速度計，其包括彎曲匹配框架，兩個固定端，第一梳狀結構，第二梳狀結構和檢測質量塊。 通過本發明的實施，可以提高加速度計對Z +方向和Z-方向感測信號的電容靈敏度。 另一方面，由於從上側進行微加工蝕刻工藝的可行性，因此提高了生產的簡易性和產量。 The present invention discloses a monolithic Z-axis torsional CMOS MEMS accelerometer, it includes a curl matching frame, two anchors, a first comb structure, a second comb structure and a proof mass. With the implementation of the present invention, the capacitance sensitivity of Z+ direction and Z- direction sensing signals by the accelerometer can be improved. On the other hand, due to the feasibility of apply ing micromachining etch processes from the top side, the ease and the yield of production are both promoted.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

國研院技術移轉中心

連絡電話

02-66300686

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