THERMAL-PIEZORESISTIVE OSCILLATOR-BASED AEROSOL SENSOR AND AEROSOL SENSING METHOD

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

15/970,859

專利證號

US 10,705,053

專利獲證名稱

THERMAL-PIEZORESISTIVE OSCILLATOR-BASED AEROSOL SENSOR AND AEROSOL SENSING METHOD

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2020/07/07

技術說明

本發明提供一種懸浮微粒感測方法，其包含:提供一通入作業，使一氣溶膠進入一熱致動振盪式懸浮微粒感測裝置的一集塵室，集塵室中放置一熱致動壓阻式共振器; 提供一集塵作業，當熱致動壓阻式共振器未通電時，讓氣溶膠中的複數懸浮微粒留置於熱致動壓阻式共振器的至少一質量塊上; 以及提供一量測作業，通入一電訊號使熱致動壓阻式共振器振盪，以量測熱致動壓阻式共振器的一共振頻率; 其中重覆集塵作業及量測作業能量測共振頻率的變化，以感測出氣溶膠中的懸浮微粒。藉此可避免熱致動壓阻式共振器發熱產生熱泳效應影響懸浮微粒的沉積。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

網址