二自由度奈米級壓電對位平台機構

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

099117037

專利證號

I 410295

專利獲證名稱

二自由度奈米級壓電對位平台機構

專利所屬機關 (申請機關)

國立虎尾科技大學

獲證日期

2013/10/01

技術說明

一種二自由度奈米級壓電對位平台機構，主要係由一個基板、一個移動單元、一組壓電驅動單元所構成；主要是採用由壓電致動器作為一對位平台之驅動源驅動，每個壓電致動器模組配合其獨立的撓性元件，並利用X軸與Y軸兩組互相垂直相交之線性驅動元件的組合式，使之無論是在X軸向Y軸向或補正中心基準角度之作動時，不僅僅能有效消除X軸向與Y軸向彼此之間的干涉誤差，同時也可達到微小的位移解析度，以提供二自由度奈米級壓電對位平台機構之實質效益。

備註

本部(收文號1060043183)同意該校106年6月28日虎科大智財字第10634001120號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

(05)6315933

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