物體表面與內部界面之造影與量測裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

099102224

專利證號

I 417534

專利獲證名稱

物體表面與內部界面之造影與量測裝置

專利所屬機關 (申請機關)

中原大學

獲證日期

2013/12/01

技術說明

本發明係提出一種物體表面與內部界面之造影與量測裝置，其所使用之裝置包含一寬頻波源，寬頻波源發射一寬頻入射波；一分波結構分離寬頻入射波為一第一入射波束、一第二入射波束與一第三入射波束，一待測物照射第一入射波束並反射一量測波束；一波延遲裝置接收第二入射波束並反射一參考波束；一反射裝置接收第三入射波束並反射一校正波束；一感測器接收量測波束與參考波束之一第一干涉訊號以及參考波束與校正波束之一第二干涉訊號。藉由寬頻入射波以不破壞物體的方式，造影與量測物體表面與內部界面的形貌，並藉由校正波束以增加物體表面與內部界面造影與量測之準確性。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作暨專利技轉中心

連絡電話

(03)2651830

網址