發明
中華民國
093118990
I 247045
鐵電元件之製造方法及鐵電材料之熱處理方法
國立交通大學
2006/01/11
本發明提供一種鐵電元件之製造方法及鐵電材料之熱處理方法,係在形成 鐵電薄膜之後,採用低能量之雷射退火為第一階段處理,以使鐵電薄膜表面 形成結晶核並改善薄膜內應力狀態,接著施以高能量之第二階段熱處理,以 大幅改善整體鐵電薄膜結品結構,進而獲得良好之鐵電特性。因此本發明 提供一種低製程溫度及低熱應力之鐵電材料熱處理方法,可有效降低交互 擴散及低熔點成分的揮發,具有高可靠、低熱處理成本、快速熱處理、元 件產出效率高等功效。
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