抗振型干涉掃描系統及其方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

097129701

專利證號

I 371574

專利獲證名稱

抗振型干涉掃描系統及其方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺北科技大學

獲證日期

2012/09/11

技術說明

本發明係有關適用於量測動態待測物表面形貌之干涉掃描術，尤其是指一種利用高同調性干涉圖案之灰度分佈來協助量測動態待測物之表面形貌之一種抗振型干涉掃描系統及其方法。一種抗振型干涉掃描系統與其方法，係對和一待測物之表面形貌相關的一高同調性干涉圖案之灰度分佈進行分析，進而根據分析結果進行具有一特定行程之掃描動作以及鎖定和該待測物之表面形貌相關的一低同調性干涉圖案之條紋分佈，以便當受到外部振動干擾或者是待測物內部自行產生振動時，該待測物之表面形貌得以被精確測得。 A vibration resistant interferometric scanning system and method are provided in the present invention. In the present invention, the brightness distribution of a high-coherence interference pattern corresponding to the surface profile of a measured object is analyzed so as to perform a fast scanning operation with a specified scanning distance and lock the fringe distribution of a low-coherence interference pattern corresponding to the surface profile of the measured object. Consequently, with the system and method of the present invention, the surface profile of the measured object disturbed by an external vibration source or by an internal vibration source may be measured accurately and precisely.

備註

本會(收文號1110059790)同意該校111年9月21日北科大產學字第1117900275A號函申請終止維護專利(國立臺北科技大學)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

專利技轉組

連絡電話

02-87720360

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