正交偏極式Mirau干涉術以及其分光模組與干涉系統

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

098105737

專利證號

I 447351

專利獲證名稱

正交偏極式Mirau干涉術以及其分光模組與干涉系統

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺北科技大學

獲證日期

2014/08/01

技術說明

本發明提供一種正交偏極式Mirau干涉術，其係利用一分光模組將一被聚光之入射光分成偏極態相互正交之一參考光與一偵測光。該偵測光照射至一待測物上而形成載有和該待測物之表面形貌相關資訊之一測物光。該測物光與該參考光先被該分光模組以偏極態相互正交之方式合光，再利用一分析器調制該合光光場中二光之偏極態和強度，使二光能相互干涉而產生具有高對比度之干涉圖案。在本發明中，該分光模組可以利用二偏極元件、一雙折射性基材或一偏極式分光層將該測物光與該參考光正交偏極化。利用前述之方法，本發明更提供一正交偏極式Mirau干涉系統，以形成和一待測物之表面形貌資訊相關之干涉圖案。由於參考光與測物光係以正交偏極方式被合光，因此可以利用一分析器分別調整參考光與測物光之強度而使二者相近，進而改善該干涉圖案之對比度。 An orthogonal-polarization Mirau interferometry is provided to split a focused incident light into a reference light and inspection light with a beam-splitting module first, where the polarization of the reference light and that of the inspection light are orthogonal. The object light and the reference light are combined by the beam-splitting module into a combined light with the polarization of the object light and that of the reference light being orthogonal. Finally an analyzer is utilized to modulate the polarizations and the intensities of the two lights to let them interfere with each other and to create an interference pattern with high contrast. Moreover, this invention proposes an orthogonal-polarization Mirau interferometer according to the algorithms of the proposed orthogonal-polarization Mirau interferometry. The orthogonal-polarization Mirau interferometer can form an interference pattern corresponding to the information about the profile of a measured object.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

專利技轉組

連絡電話

02-87720360

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