量測抽樣方法與其電腦程式產品

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

103111289

專利證號

I 521360

專利獲證名稱

量測抽樣方法與其電腦程式產品

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2016/02/11

技術說明

產品檢測在生產過程中是用來確定產品品質的必備手段。然而，為實施實際量測，就須要購置實際量測儀器，且須增加量測時間於生產週期時間(cycle time)內，如此既耗錢又耗時。因此，為降低生產成本，許多工廠的優先考量為盡可能地降低抽測率。曾有數個文獻提出利用實際抽測的方法來達成監控整個生產過程之產品品質的目標。然而，在製造過程穩定且實際量測不易或無法執行時，虛擬量測技術可被運用來取代或減少實際量測，且此虛擬量測結果亦能被運用來監測晶圓品質。所以，如抽樣決策機制是根據可靠的虛擬量測結果來設計，則抽測率可再進一步降低。然而，如果原排定好沒被要求抽測的樣本在生產時發生變異，則可能會因此期間無實際量測資料可用來更新虛擬量測模組，而導致虛擬量測預測精度不良的結果。本發明之目的著眼於運用可偵測出在生產過程中之各種狀態改變(如執行機台保養、更換機台零組件、調整機台參數等)或機台資訊異常(如製程資料品質不良、機台參數值漂移、量測資料品質不良等)之各式指標，來研發智慧型取樣決策(Intelligent Sampling Decision, ISD)機制，此機制可在確保虛擬量測之精度能合乎規格的條件下，能進一步地降低抽測率。 Product inspection plays a significant role in monitoring the quality of production workpieces. If a manufacturing process is stable, then virtual metrology (VM) may be applied to monitor the quality of workpieces while real metrology is unavailable. Nevertheless, if a production variation occurs between planned samplings, no real metrology is available during this period for updating the VM models, then it may result in un-reliable VM predictions. Therefore, this patent focuses on applying various indices that can detect various status changes (such as maintenance operation, parts changing, parameter adjustment, etc.), and/or tool data abnormalities (such as abnormal process data, parameter drift/shift, abnormal metrology data, etc.) appear in the manufacturing environment to develop an Intelligent Sampling Decision (ISD) scheme for reducing sampling rate while VM accuracy is still sustained.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

企業關係與技轉中心

連絡電話

06-2360524

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