熱探針THERMAL PROBE

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

100124684

專利證號

I 439695

專利獲證名稱

熱探針THERMAL PROBE

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2014/06/01

技術說明

掃描熱探針顯微術(SThM)是基於原子力顯微鏡(AFM)的一項技術，與原子力顯微鏡不同之處在於SThM具有可加熱之探針，利用此熱探針進行掃描，可得到試片表面的溫度分布。由於這項技術的發明，材料熱分析的尺度得以推展至次微米及微米的尺度。熱探針一般可分為熱電阻式及熱電偶式兩種，本文探討的為熱電阻式，首先在懸臂樑上定義一個高電阻抗區，利用電流流經此區時產生的焦耳熱來加熱探針，當探針與試片表面接觸時，量測熱流或探針電阻變化，可轉換成試片的表面溫度。對於現今體積逐漸減小積體電路(Integral circuits)而言[1]，散熱便是重要的一環，因此，材料熱性質的探求便與日俱增，而偵察材料熱性質的熱掃描探針(SThM)的使用範圍變得益加廣泛。除此之外，熱探針也可適用於一般AFM，如此可同時獲得試片表面形貌。 除了分析功能之外，熱探針還可運用於熱加工，利用熱探針之高溫，在基板上刻劃出圖案，此舉可應用在記憶儲存、奈米微影等；而基板與探針的接觸點，也可能因為溫度與應力的關係，發生化學反應或相變化，可應用於奈米結構加工。 The goal of this project is to design and develop novel probe for scanning thermal microscopy, especially for the Nano-TA type of probes that consist of a cantilever and a micro-heater. We proposed and developed a “vehicle probe” prototype as the milestone for the first year activities. The cantilever and the micro-heater are existing technologies, and we proposed to combine these two technologies and add the function to affix the separate probe tip via a foldable micro-heater.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

企業關係與技轉中心

連絡電話

06-2360524

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