面型彩色共焦顯微系統及其訊號處理方法CHROMATIC CONFOCAL MICROSCOPE SYSTEM AND SIGNAL PROCESS METHOD OF THE SAME

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

13/684,827

專利證號

US 9,025,245 B2

專利獲證名稱

面型彩色共焦顯微系統及其訊號處理方法CHROMATIC CONFOCAL MICROSCOPE SYSTEM AND SIGNAL PROCESS METHOD OF THE SAME

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺北科技大學

獲證日期

2015/05/05

技術說明

本發明提供一種共焦顯微形貌量測方法與裝置，其係藉由分光模組與控制不同厚度之折射元件，使影像擷取裝置擷取關於一待測物之複數組分別具有不同聚焦位置之影像。接著取得每一組影像中之子影像所具有之聚焦指標值，再利用曲線擬合之技術，擬合出對應每一組影像之聚焦反應曲線。最後再根據該聚焦反映曲線求得其峰值，以得到該待測物之形貌特徵。利用本發明之方法與裝置可以精確且快速完成全域式三維輪廓量測。本發明提供一種共焦顯微形貌量測裝置，其係利用DMD來調制入射光投影圖形與光源強度，並藉由DMD所具備之高亮度與高解析等特性，以彌補量測資訊與空間解析不足之問題，使得該共焦顯微形貌量測裝置可以適應於各種不同待測物表面之應用。 A simultaneous confocal full field surface profilometer and method is presented in the present invention. The optical system can generate and project Moiré fringes onto the object’s surface. Along the scanning vertical direction of each measuring point, four image intensities from corresponding image sensing modules can form a focus-to-depth response function, in which the image intensity can reach its maximum when the image of the corresponding pixel is located on the focal plane of the microscope objective. Thus, simultaneous vertical scanning of confocal full-field surface profilometry can be achieved.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

專利技轉組

連絡電話

02-87720360

網址