臨界角法量測橫向位移、 定位、速度之裝置及方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

100107453

專利證號

I 436028

專利獲證名稱

臨界角法量測橫向位移、 定位、速度之裝置及方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立虎尾科技大學

獲證日期

2014/05/01

技術說明

本專利提出「CCD臨界角法量測橫向位移、定位、速度之裝置與方法」來量測光柵橫向移動的微小位移量，利用一物鏡來提高橫向位移的解析度，並搭配臨界角法來提升位移量測的靈敏度，再以線性或矩陣式光感測器（例如：CCD, COMS…）作為擷取光柵影像，採取在線性或矩陣式光感測器上之固定幾個像素（pixel）做為探測點，紀錄其光強度變化，以及前後選取之像素之間的光強度關連性做為移動方向或速度或位置（定位）量測之依據，經由軟體程式判斷及分析，換算出橫向位移量、或定位點、或速度。橫向解析度可高於1/4光柵週期。本實驗優點具有非接觸性、非破壞性、非干涉法，大大降低成本與相位擾動且可即時量測橫向位移量，將可應用在精密定位與加工之用途上 The patent proposes a new method for the transverse displacement, location and/or velocity measurements by uses of the critical angle method and a CCD (one- or two-dimension) array. We used an objective to increase the magnification of the optical system, and utilized the critical angle characteristic of a parallelogram prism to improve its intensity contrast and displacement resolution. Then, to detect some pixel’s intensities from the grating image on the CCD is to resolve and analyze the direction and displacement of the translator. Finally, from the rule of displacement analysis, we used a personal computer to calculate the transverse displacement, location, and velocity. It has some merits, such as, low cost, non-contact, non-destructive, non-interfering, real-time, and high resolution.

備註

本部(收文號1060025200)同意該校106年4月14日虎科大智財字第10634000590號函申請終止維護專利

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