檢測系統及方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

095123930

專利證號

I 299890

專利獲證名稱

檢測系統及方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立交通大學

獲證日期

2008/08/11

技術說明

本發明為應用於晶圓打線製程中線塌瑕疵檢測之結構光源，係包括於晶片東西南北四個方向設 置的照明光源，分別針對晶片四個邊緣上的金線提供照明。 The structured LED is developed for the sagged wire inspection.

備註

本部(收文號1060016225)同意該校106年3月7日交大研產學字第1061002219號函申請終止維護專利

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