發明
中華民國
109125531
I 732636
雷射穩源系統與雷射光源模組
國立成功大學
2021/07/01
雷射光源之精度與穩定度不僅受外在環境溫度、震動所影響,也會受本身之結構、熱源及輸入源等影響,故克服上述之問題使雷射光源品質則能提升雷射儀器之精度以及價值。本專利提出一套雷射光源補償系統及一四自由度之Fast steer mirror (FSM),有效的改善雷射光源穩定度及降低擾動誤差(總共有四自由度誤差,兩平移兩旋轉), 並改善傳統雷射穩源系統零件過多,光程過長使雷射源誤差被放大之問題。
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