發明
中華民國
102100126
I 464364
液晶盒厚度量測裝置及其量測方法
國立中山大學
2014/12/11
一種液晶盒厚度量測裝置。本發明係透過雷射光源用以產生激發光源及探測光源,步進馬達將探測光源延遲一特定時間,光導天線模組用以接收激發光源並產生兆赫波。第一面鏡組用以將兆赫波聚焦於液晶盒放置之位置。第二面鏡組用以使穿過液晶盒的兆赫波聚焦於電光晶體之位置,使電光晶體之折射率將被入射之兆赫波改變。探測光源由步進馬達給予一延遲時間後入射至改變折射率之電光晶體,而導致光程改變。檢測模組檢測探測光源之光程以取得樣品電場時域波形,將樣品電場時域波形與參考電場時域波形轉為頻譜圖,藉由頻譜圖計算出液晶盒之厚度。
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