發明
中華民國
094138247
I279539
含釕生物感測器以及該生物感測器之量測方法與應用
國立雲林科技大學
2007/04/21
一種生物感測器以及該生物感測器之量測方法與應用。上述生物感測器係一延伸式閘極場效電 晶體結構,包括:一金氧半場效電晶體,位於一半導體基底上;一感測元件,其包括一基板, 一含釕薄膜位於該基板上;以及一導線,連接該金氧半場效電晶體與該感測元件。 A biosensor containing ruthenium, and measurement using the same and the application thereof. The biosensor is an extended gate field effect transistor (EGFET) structure and comprises a metal oxide semiconductor field effect transistor (MOSFET) on a semiconductor substrate, a sensing unit comprising a substrate, and a layer comprising ruthenium on the substrate, and a metal wire connecting the MOSFET and the sensing unit.
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