發明
中華民國
110147025
I 786994
包含c面單晶二氧化銅鋁層的複合板的製造方法
國立中山大學
2022/12/11
一種包含c面單晶二氧化銅鋁層的複合板的製造方法,用以解決習知坩堝法需要進行化學蝕刻的問題。該製造方法包含:於無晶型多孔氧化鋁板的第一表面上形成銅氧化物漿,續於該銅氧化物漿上覆蓋藍寶石基板,使該藍寶石基板的第二表面接觸該銅氧化物漿,以形成一三明治結構;將該三明治結構以該藍寶石基板在上,該無晶型多孔氧化鋁板在下的方式置入鍛燒爐中,並於1100~1250℃之溫度下,鍛燒該三明治結構1~5小時;及移除經鍛燒之三明治結構的無晶型多孔氧化鋁板,以獲得一複合板,該複合板包含該藍寶石基板及c面單晶二氧化銅鋁層。
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