週期性非線性光學元件的製造方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

097121366

專利證號

I 369568

專利獲證名稱

週期性非線性光學元件的製造方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣大學

獲證日期

2012/08/01

技術說明

一種週期性非線性光學元件的製造方法，係於鐵電材料基板之第一表面上形成具有週期性結構之金屬層，再加熱基板以於第一表面下方形成週期性金屬擴散結構，最後施加鉛直射入該第一表面之電場，使該鐵電材料基板未受該週期性金屬擴散結構遮蔽之鉛直區域產生極化反轉。如此，利用該週期性金屬擴散結構之反轉電場較高之特性，使該鐵電材料基板未受該週期性金屬擴散結構遮蔽之鉛直區域產生極化反轉，因此能避免於製造週期性晶格極化反轉鈮酸鋰晶體時，由於光阻之電場遮蔽效果較差，所產生之極化反轉不均之現象。 A method for manufacturing a cyclic nonlinear-optical component is proposed, characterized by forming a metal layer having a cyclical structure on a first surface of a substrate made of ferroelectric material; forming a cyclic metal expanding structure under the first surface by heating the ferroelectirc substrate; and adding and injecting lead into the electric field of the first surface of the ferroelectric substrate, enabling the lead region not being shielded by the cyclical metal expanding structure of the substrate to generate polarization reverse turning by the higher reverse turning electric field of the expanding structure, thereby overcoming the drawback of uneven polarization reverse turning due to the poorer shielding effect of the photoresist electric field of the prior art.

備註

本部(收文號1100057959)同意該校110年9月16日校研發字第1100067275號函申請終止維護專利(台大)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作總中心

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33669945

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