可切換量測鏡之多重干涉位移量測裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

102114795

專利證號

I 465687

專利獲證名稱

可切換量測鏡之多重干涉位移量測裝置

專利所屬機關 (申請機關)

國立雲林科技大學

獲證日期

2014/12/21

技術說明

一種可切換量測鏡之多重干涉位移量測裝置，設有一光源模組、一感測頭模組、一量待測模組、一訊號處理模組及一顯示模組，該光源模組設有一氦氖雷射、一光隔離器、一光纖及光纖耦合器，該感測頭模組接收該光源模組的光束源且設有一光纖耦合器、一分光鏡、一偏振分光鏡、一鍍膜玻璃平板、一相位延遲片、兩光強度檢測器及一前級放大器，該量待測模組接收與反射該感測頭模組的光束且設有一量測鏡，該訊號處理模組與該量感測頭測模組連接且設有一後級放大器及一訊號處理器，該顯示模組與該訊號處理模組相連接，藉以提供一方便架設、可抗環境干擾及鏡面傾角且可提高量測範圍之位移量測裝置。 This device is a multi-interferometric displacement measurement system with two alternative measurement mirrors, i.e. planar mirror or corner cube reflector. From the measurement mirror the light beam is reflected back to the sensor head and then is transmitted to the signal processing module which has a secondary amplifier and a signal processing element connected with the sensor head module. The display module is linked to the signal processing module. According to arrangement of this apparatus, the proposed displacement measurement interferometer is possessed of the ability of the anti-tilt angle in the large measuring range.

備註

本會(收文號1120022951)同意該校112年4月21日雲科大研字第1120500154號函申請終止維護專利(國立雲林科技大學)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財管理組

連絡電話

(05)5342601轉2521

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