沸石複合膜的製備方法FABRICATION OF ZEOLITE COMPOSITE FILM

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

101147619

專利證號

I 483776

專利獲證名稱

沸石複合膜的製備方法FABRICATION OF ZEOLITE COMPOSITE FILM

專利所屬機關 (申請機關)

義守大學

獲證日期

2015/05/11

技術說明

本專利利用兩種不同奈米沸石顆粒懸浮液製備方法將兩者利用特定方式組合成複合沸石膜,結構中同時具有包括微孔(0.5-0.6nm)-中孔(2-3nm)-巨孔(2-3um)三種大小的孔洞。此外，此案中具有孔洞的材料的製備方法是利用氬氣作為引導沉積的氣體，是一環保的綠色環保製程利用奈米級複合材料加上電漿化學製備方法具有新穎性。此外，本發明所製作的產物具有低介電常數且附著力高，可用於半導體產業中介電絕緣層的應用，具有商業上的高度價值。 The invention relates to porous composite Zeolite membranes having Micro/Meso/Macroporosity to a method of making such a zeolite membranes amd to their use in low-k materials.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學智財營運總中心產學合作與專利技轉中心

連絡電話

07-6577711ext2683

網址