可調靈敏度的相位量測系統

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

103135269

專利證號

I 548870

專利獲證名稱

可調靈敏度的相位量測系統

專利所屬機關 (申請機關)

國立虎尾科技大學

獲證日期

2016/09/11

技術說明

本論文提出利用外差干涉技術的高靈敏度導模共振感測器。製程採用軟微影與奈米壓印技術結合熱壓機翻印光柵，首先以聚二甲基矽氧烷經由軟微影技術製作翻印模仁，再藉由二氧化矽奈米壓印技術結合熱壓機給予一壓力與溫度將光柵壓印到基板上，光柵週期、調制深度與TiO2薄膜厚度等參數皆用EM Explorer與GSolver模擬軟體取得合適參數。 導模共振元件製作完成後，使用外差式干涉技術搭配Labview自動化程式整合步進馬達旋轉平台、鎖相放大器、光功率計與電腦做全自動量測，並發現反射式量測無法以改變分析鏡角度提偵測高靈敏，而透射式量測經由改變分析鏡角度達到可調靈敏度，最高偵測靈敏度為1.8×10E-7RIU。 We proposes a Nano-imprinting guided mode resonance (GMR) sensor by a heterodyne interferometry technique. The heterodyne interferometry technique and Labview were applied to integrate with stepper motor rotation stages, a lock-in amplifier, an optical power meter, and a computer to run the measurements automatically. It is found that the reflection type of heterodyne interferometry can not adjust sensitivity by altering the angle of analyzer while the transmission type of heterodyne interferometry can adjust sensitivity by altering the angle of the analyzer and the highest sensitivity is 1.8×10E-7RIU.

備註

本部(收文號1110033626)同意該校111年6月9日虎科大智財字第1113400059號號函申請終止維護專利(國立虎尾科技大學)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

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