發明
中華民國
101102511
I 452714
太陽能電池及其製造方法
國立臺灣大學
2014/09/11
一種太陽能電池的製造方法,包括以下步驟。首先,提供第一導電型的矽晶片,其中矽晶片具有第一表面與第二表面,且第一表面上具有多個奈米柱。之後,進行摻雜製程,使奈米柱以及位於奈米柱下方的部分矽晶片的導電型態改變為第二導電型。然後,於第二表面上形成第一電極,並對第一電極進行第一退火製程。接署,於第一表面上形成第二電極。其後,進行原子層沈積製程,以於第一表面與奈米柱的表面上形成表面鈍化層。
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