金屬微結構製備之方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

094111266

專利證號

I 319446

專利獲證名稱

金屬微結構製備之方法

專利所屬機關 (申請機關)

國防大學

獲證日期

2010/01/11

技術說明

本發明係有關於一種金屬結構之製備方法，包括步驟如下：（a）提供一表面具有圖像 （pattern）之基材、一化學鍍液、以及一具加熱裝置與冷卻裝置之鍍槽；（b）以加熱裝置 加熱反應區域之化學鍍液，且亦以冷卻裝置同時冷卻非反應區域受熱之化學鍍液；（c）將 基材置入化學鍍液內，且基材被鍍面與加熱裝置之間保持一間隙；（d）取出基材；（e）將 基材固定鍍槽底部，並由加熱裝置直加熱基材；以及（f）取出基材；本發明之方法不須經 過貴金屬敏化、活化，可直接在基材表面進行化學析鍍，且程序簡單、亦能提供一高析鍍速 率之高深寬比（highaspect ratio）的金屬結構。

備註

本部(收文號1040084042)同意該校104年11月20日國學研發字第1040010791號函申請終止維護專利

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連絡電話

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