發明
中華民國
100120156
I 406732
磁場輔助雷射電漿裝置
國立雲林科技大學
2013/09/01
本發明系有關一種磁場輔助雷射電漿裝置,特別是指一種具有磁力部之磁場輔助雷射電漿裝置,其兼具加工時間短及可控制、監測以回饋調控孔洞形狀等優點及功效。 本發明之目的在於提供一種磁場輔助雷射電漿裝置,其兼具加工時間短即可控制孔洞形狀等優點及功效,並可及時回饋調控,用以解決習知技術加工時間長及無法控制微小金屬粒子之移動方向等問題。 本發明系有關一種磁場輔助雷射電漿裝置,特別是指一種具有磁力部之磁場輔助雷射電漿裝置,其兼具加工時間短及可控制、監測以回饋調控孔洞形狀等優點及功效。 本發明之目的在於提供一種磁場輔助雷射電漿裝置,其兼具加工時間短即可控制孔洞形狀等優點及功效,並可及時回饋調控,用以解決習知技術加工時間長及無法控制微小金屬粒子之移動方向等問題。 Magnetic field assisted laser plasma device designed for laser process with controllable、 monitoring、feedback and other features.
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