有機高分子薄膜及其製作方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

109145193

專利證號

I 766488

專利獲證名稱

有機高分子薄膜及其製作方法

專利所屬機關 (申請機關)

逢甲大學

獲證日期

2022/06/01

技術說明

本發明係採用電漿聚合技術以生長聚對二甲苯薄膜；其中，電漿聚合技術乃為短脈衝電漿聚合製程，前驅物為液態具有複數個官能基之苯環類化學結構。此外，藉由液態前驅物之選用，遂可生長出不同分子結構及元素之聚對二甲苯薄膜，例如：Parylene N、Parylene C、Parylene D、Parylene F及Parylene HT。相較於傳統之高溫熱裂解製程，本發明提出之方式具有前驅物成本低廉、製程溫度幾近室溫、高薄膜生長速率及真空度需求低；另一方面，藉由短脈衝電漿活化方式，可以大幅保留液態前驅物之分子鍵結結構，且可大幅提升薄膜品質及薄膜附著性。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術授權中心

連絡電話

(04)24517250-6811

網址