利用電漿增強化學氣相沉積技術在可撓式塑膠基板上連續沉積有機/無機多層水氣阻障層之方法及其製品

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

098125362

專利證號

I 408249

專利獲證名稱

利用電漿增強化學氣相沉積技術在可撓式塑膠基板上連續沉積有機/無機多層水氣阻障層之方法及其製品

專利所屬機關 (申請機關)

國立虎尾科技大學

獲證日期

2013/09/11

技術說明

本發明為利用單一電漿增強化學氣相沉積系統，以四甲基矽烷有機液體源材料單體及四甲基矽烷與氧氣混合氣體在低溫環境下於可撓式塑膠基板表面連續沉積有機/無機多層氣體阻障層結構，可克服目前相關習用在可撓式塑膠基板上製備水氣阻障多層膜所遭遇製程設備成本過高以及多層膜結構製程污染與複雜性等問題，並藉由四甲基矽烷單體源材料電漿聚合而成之有機矽基薄膜緩衝無機氧化矽薄膜沉積在可撓式塑膠基板上所產生的內應力，改善無機薄膜的附著度與可靠性，進而製作多對有機矽基/無機氧化矽薄膜結構，提升多層水氣阻障層的阻水氣滲透能力。

備註

本部(收文號1070068280)同意該校107年9月26日虎科大智財字第1073400101號函申請申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

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