發明
中華民國
097139615
I 387778
抗輻射多層膜鏡片結構
國立中山大學
2013/03/01
本發明主旨在於利用AZO(氧化鋅鋁)取代ITO(氧化銦錫)導電薄膜,鍍製抗輻射多層膜鏡片之技術,以電子束蒸鍍法鍍製,採用六層之光學堆疊設計,利用光學軟體決定各層的折射率與膜厚之關係。 現今鍍製光學膜工廠皆有多年的經驗及製程參數,若為了降低成本而冒然的改變材料,必須重新計算各膜層厚度與折射率之關係,也將嚴重影響製程參數設定以及品質;本發明架構採用六層光學堆疊設計,運用高折射率材料ZrO2、AZO與低折射率材料SiO2堆疊製做成寬廣區域抗反射膜,其中SiO2作為增加低反射區域之拓寬層,堆疊ZrO2可降低反射率;由於AZO與ITO具有相同之光電特性,且AZO之折射率與ZrO2相近,因此AZO與ZrO2堆疊在一起可視為同一膜層,一方面也具有導電特性。
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