微波電漿燒結系統

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

099138476

專利證號

I 420977

專利獲證名稱

微波電漿燒結系統

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺北科技大學

獲證日期

2013/12/21

技術說明

本發明提供一種微波電漿燒結系統，用以對共振腔體內之 試片載座上的電漿進行燒結。多個感測設備用以量測共振腔體 內的多個環境參數。遠端控制系統執行HFSS 電磁場分析軟體 以獲得該共振腔體內之電場分佈。遠端控制系統還根據該電場 分佈與多個環境參數產生控制信號。微波電磁場調整器控制系 統接收該控制信號，且根據控制信號控制微波電磁場調整器的 位置，以及調整共振腔體內之微波的反射功率大小。人機介面 控制系統作為多個感測設備、微波電磁場調整器控制器與遠端 控制系統之間的控制介面。 The present invention provides a microwave plasma jet sintering system for sintering plasma on a specimen carrier in a resonant cavity. The system includes: a plurality of sensing apparatuses for measuring a plurality of ambient parameters in 2 the resonant cavity; a remote control system for executing HFSS-based electromagentic field analysis software to obtain electric-field distribution in the resonant cavity, and generating a control signal according to the electric-field distribution and the ambient parameters; a microwave electromagentic field tuner (E-H tuner) controlling system for receiving the control signal, controlling the position of the E-H tuner according to the control signal, and regulating the strength of the reflection power of microwave in the resonant cavity; and a human-machine interface controlling system functioning as a control interface of the sensing apparatuses, a E-H tuner controller, and the remote control system.

備註

本部(收文號1060040584)同意該校106年6月19日北科大產學字第1067900147號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

專利技轉組

連絡電話

02-87720360

網址