鑽石微波微帶線表面聲波濾波器及其製造方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

093137709

專利證號

I 241065

專利獲證名稱

鑽石微波微帶線表面聲波濾波器及其製造方法

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2005/10/01

技術說明

本發套係揭露一種利用鑽石微波微帶線之表面聲波濾波器及其製造方法。利用鑽石層或類鑽 碳層之高聲速及優越之震動性，結合微波微帶線及交叉指狀電極轉換器形成之表面聲波濾波 器。在矽基板或砷化鎵基板上形成一層鑽石層(或類鑽石層)然後再於鑽石層上形成一層氧化 鋅或氮化鋁作為壓電薄膜，再鍍上鋁，以微影蝕刻或舉離法形成方形耦合微帶線開迴路諧振 器及表面聲波交叉指狀電極轉換器，於基板背面鍍上一層接地用鋁金屬即氣伐波微帶線與表 面聲波IDTs交錯耦合之濾波器。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

國研院技術移轉中心

連絡電話

02-66300686

網址