發明
中華民國
095141204
I 358772
硫化處理應變式砷化鋁銦/砷化鎵銦異質接面場效應電晶體(MHEMT)之方法
長庚大學
2012/02/21
本發明係一種處理應變式砷化鋁銦/砷化鎵銦異質接面場效應電晶體(MHEMT)之方 法,其係利用硫化處理應用在應變式砷化鋁銦/砷化鎵銦異質接面場效應電晶體 (MHEMT)元件,做閘極的鈍化處理,使啟始電壓提升,表面漏電流減少,表面狀態 密度也增強,使其能運用在高電流密度和高輸入功率範圍。
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