微型注模技術和製作有機薄膜電晶體的方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

095139235

專利證號

I 323039

專利獲證名稱

微型注模技術和製作有機薄膜電晶體的方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣大學

獲證日期

2010/04/01

技術說明

一種微型注模技術製作有機薄膜電晶體之方法，包括以下步驟：提供一母模與一可撓性基板，其中母模第一個主要面上有微結構定義源/汲極之圖案，母模第二個主要面上至少有一個開孔，可灌注溶液材料之用；首先形成一黏著層於可撓性基板上，並將母模與可撓性基板接合；從母模開孔注入源極/汲極溶液材料，固化處理後形成源極/汲極，再移開母模；形成一半導體層於源極/汲極之上；形成一絕緣層於半導體及源極/汲極之上；形成一閘極於絕緣層之上；形成一保護。 A method for fabrication of organic thin film transistors, comprising steps of: providing a mold and a flexible substrate, wherein the first primary face of the mold comprises some microstructures that define source/drain electrodes pattern and the second primary face of the mold comprise at least one hole that could be used for casting materials; forming an adhesion layer on the flexible substrate to enable the mold to be assembled with the flexible substrate; casting the source/drain electrodes solution into the holes of the mold to form the source/drain electrodes; forming an insulator layer on the semiconductor layer and on the source/drain electrodes; and forming a gate electrode and a protection layer on the insulator layer respectively. The channel length of the thin film transistor can be determined by the resolution of the microstructures on the mold.

備註

本部(收文號1090002409)同意該校109年1月7日校研發字第1090000702號函申請終止維護專利(臺大)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作總中心

連絡電話

33669945

網址