壓電換能器之製造方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

103143784

專利證號

I 572262

專利獲證名稱

壓電換能器之製造方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2017/02/21

技術說明

【0002】 壓電換能器(piezoelectric transducer)是利用壓電材料的壓電效應來實現電能與機械能相互轉換之裝置，其可同時作為感測器(sensor)與致動器(actuator)來使用，故相當具有發展之潛力。 本技術是一種壓電換能器之製造方法，包括：提供一基板，其上形成有複數圖案化電極；提供一壓電粒子懸浮溶液於該基板及該些圖案化電極上；提供一電壓予該些圖案化電極之間，以產生一電場；以及透過該電場，使得該壓電粒子懸浮溶液中之複數壓電粒子沉積於該些圖案化電極之至少其中一者上，以形成一圖案化壓電薄膜，並透過該電場，使得該圖案化壓電薄膜發生極化。 A method for fabricating piezoelectric transducer is provided. The method includes providing a substrate with a plurality of patterned electrodes formed thereon; providing a piezoelectric suspension on the substrate and the patterned electrodes; providing an electrical potential difference between the patterned electrodes to produce an electric field; and depositing a plurality of piezoelectric particles within the piezoelectric suspension on at least one of the patterned electrodes by the electric filed, to form a patterned piezoelectric membrane, and polarizing the patterned piezoelectric membrane by the electric filed.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

網址