光學頭

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

100140836

專利證號

I 461741

專利獲證名稱

光學頭

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣大學

獲證日期

2014/11/21

技術說明

一種光學頭，係包括中空微管體與填塞件，該微管體具有大管徑部及與其相接之管徑漸縮部，且係用以將入射光由該大管徑部傳遞至管徑漸縮部，並由該管徑漸縮部之尖端出光，而該填塞件係設置於該微管體內。相較於習知技術，本發明之光學頭較易於製作，而有助於成本的降低，且本發明之光學頭能有效進一步聚焦，而達成次波長光點尺寸與長焦點深度的光學曝光目的。 使用之材料為石英或玻璃毛細管，將其拉伸後對其尖端、末端表面做光學處理，並對其管壁內部及外部做屏閉，並設計其內部及外部半徑之比例，製作出具有次波長聚焦能力之貝索光束聚焦光學頭。 Disclosed is an optical head, including a hollow micro-pipe and a stuffing member, the micro-pipe having a diameter-extended portion and a diameter-diminishing portion adapted allowing the incident light to transmit from the diameter-extended portion to the diameter-diminishing portion to emerge from its tip, and the stuffing member being disposed inside of the micro-pipe compared to prior techniques. The optical head of the invention is easier to be made, and it has a better focus for achieving optical exposure of sub-wave length focal spot and deep depth of focus.

備註

本部(收文號1100033534)同意該校110年6月9日校研發字第1100036312號函申請終止維護專利(台大)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作總中心

連絡電話

33669945

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