光學量測裝置及光學量測方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

103107683

專利證號

I 479119

專利獲證名稱

光學量測裝置及光學量測方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2015/04/01

技術說明

一種光學量測裝置包含一光學模組、一微分單元、一比較單元，及一計算器，該光學模組發射一雷射光束至一待測物體的表面產生一相關於表面的反射光，且該反射光與該雷射光束產生一自混干涉信號，並該光學模組偵測該自混干涉信號以得到一偵測信號，該微分單元電連接該光學模組以接收該偵測信號，並將該偵測信號進行微分來產生一微分信號，該比較單元電連接該微分單元以接收該微分信號，並根據該微分信號產生一準位信號，該計算器電連接該比較單元以接收該準位信號，並將每一準位信號進行累加計算，得到一相關於待測物體的表面型貌的資訊。 An optical measuring device includes an optical module, a differential unit, a comparison unit, and a calculator. The optical module transmits a laser beam to the surface of an object to be measured in the reflected light to produce a correlation surface, and the reflected light from the laser beam to produce a mixed interference signals. The optical module detects the interference signal from mixed to obtain a detection signal, the differential unit is electrically connected to the optical module to receive the detection signal. The differential detection signal and for generating a differential signal, the comparison of the differential unit cells are electrically connected to receive the differential signal, and generates a quasi-bit signal based on the differential signal.

備註

本部(收文號1090023163)同意該校109年4月20日興產字第1094300209號函申請終止維護專利(中興)

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