發明
中華民國
096112970
I 347305
回收矽泥之方法
國立臺灣大學
2011/08/21
於晶棒切割成矽晶片時,平均約有40%的矽因為切割線本身的寬度而損耗掉,這些矽泥以污泥的方式被丟棄或是回收碳化矽粒子後丟棄浪費了許多成本,若這些40%的切割矽泥可以回收再次成為矽晶棒生長的原料,就可以減低生產成本,而本發明則先將污泥進行離心清洗步驟去除矽泥中之雜質,再進行高溫分離步驟,其中加熱溫度係介於矽及碳化矽熔點之間,並停留一段適當時間,使矽及碳化矽分離,並去除碳化矽,而可得到矽,藉此回收應用於太陽能晶體的原物料之用,更可以增加矽晶產量及降低成本。 The present invention relates to a recovery method of silicon slurry, and more particularly, to a recovery method of silicon slurry, which recovers silicon from the silicon slurry lost in slicing a crystal bar into silicon wafers by removing the impurities from the silicon slurry.
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