應用通用型嵌入式裝置之生產製程的品質預測系統與方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

094103745

專利證號

I269990

專利獲證名稱

應用通用型嵌入式裝置之生產製程的品質預測系統與方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2007/01/01

技術說明

本發明提出一種適用於半導體與TFT-LCD廠生產製程設備的智慧型品質預測系統(IQPS)，該系統使用一種通用型的嵌入式裝置(GED)，可以很容易地將不同功能的品質預測模組嵌入到生產製程設備之中，以符合不同設備的品質預測需求。同時，該GED的設計完全符合ISMT Interface A的規格，因此可以很容易地與半導體與TFT-LCD廠的生產資訊流程及平台進行整合。此外，本品質預測系統中的GED提供一個標準的可插入式應用介面(Pluggable Application Interface)，該介面允許使用者快速地更換不同的品質預測模組，以滿足各種不同的客制化需求並達到即插即用的功能。本品質預測系統的另一個特點為：GED可以在不增加網路資料流量與不影響設備現有功能的情況下，嵌入到生產製程設備之中，進行產品製程品質預測，並在預測到產品製程品質可能發生異常時，主動通知設備工程師進行處理或調整設備參數，以減少不良品的產生，並增加半導體或TFT-LCD廠產品生產良率與效益。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

企業關係與技轉中心

連絡電話

06-2360524

網址